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制程薄膜

发布时间:2018-03-31 12:01:08  浏览次数:

Filmetrics 提供测量非金属半导体制程薄膜的全系列产品。

F20是单点测量厚度和折射率的最经济有效的仪器。

对于小光斑厚度测量 (1 微米或更小),可以将F40固定到您的显微镜上。

对于空白晶圆薄膜厚度测绘,可选用经济有效的F50。而F80则能测绘产品晶圆上的薄膜厚度。

我们专利的厚度成像技术使我们的仪器易于设定、较少配方,并且提供更为可靠的模式识别和比传统薄膜计量工具更低的价格。 有独立或组合到其它设备的机型可供选择。


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