以下是关于DLC涂层的详细介绍:
基本信息
定义:DLC 涂层,即类金刚石碳膜,是一种非晶态碳膜,其结构中含有金刚石结构(sp³ 键)和石墨结构(sp² 键)的亚稳非晶态物质,主要由碳和氢组成。外观:通常呈现出黑灰色。
制备方法:物理气相沉积(PVD)
溅射法:通过高能粒子轰击碳靶材,使碳原子被溅射出来并沉积在基底表面形成 DLC 涂层。
离子束沉积(IBAD):使用离子束轰击碳源目标,释放碳离子并使其沉积在基底表面。
化学气相沉积(CVD)
热解 CVD:在高温下,将含碳的气体如甲烷、乙炔等分解为碳原子,然后沉积在基底表面。 光催化 CVD:利用光催化作用,使含碳气体在基底表面发生化学反应生成 DLC 涂层。
射频等离子体增强化学气相沉积(PECVD):在沉积过程中引入射频等离子体,增强反应活性,实现低温下 DLC 薄膜的生长。
高硬度:维氏硬度可高达 2200-4000HV,接近天然金刚石的硬度,能显著增强材料表面的耐磨性。
低摩擦系数:表面光滑无缺陷,摩擦系数通常小于 0.2,甚至在一些情况下可低至 0.05-0.1,能有效减少摩擦损失。
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