工艺温度 80~150°C低温涂层:含氢类金刚石DLC涂层
来源:技术支持 | 发布日期:2024-01-27

含氢类金刚石DLC涂层的主要成份是碳,是一种兼有高硬度与优异摩擦性能的非晶体硬质薄膜由石墨(SP2)与金刚石(SP3)组成。SP3金刚石的碳原子在空间构成连续、坚固的骨架结构,所以坚硬,成正八面体晶状体。SP2石墨的碳原子呈平面层状结构,层与层之间的作用力小,所以很软,能导电,有滑感的鳞片状结构此类类金刚石(DLC)涂层通常由含氢(H)气体如乙炔C2H2,甲烷CH4经过PECVD的方式获得.而且可以在较低工艺温度下获得,工艺温度最低可以低于80°C,从而可以有效解决材料热变形等缺陷。

含氢类金刚石(DLC)涂层

由于其优异的摩擦性能,在工业上得到广泛应用。特别是在无润滑剂情况下,摩擦系数也很低(µ=0.0050.2)含氢类金刚石DLC涂层摩擦系数小,而且抗粘附性好,硬度高、耐磨性优良。

 

类金刚石DLC涂层的特性

薄膜厚度:<=3um

摩擦系数:0.05~0.1

薄膜硬度:<30GPa (HV3000)

最高使用温度:350°C

薄膜颜色: 黑色/黑灰色

工艺温度: 80~150°C

涂层结构: 纳米单层/复合

 

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