涂层产品在各个领域都有广泛应用，是常用的固态薄膜，可以作为防护、绝缘以及装修等用处，其制备方法主要是选用物理堆积技能或化学堆积技能将金属或非金属化合物涂镀于基体材料上，构成镀层。不过，涂层制造会产生内部应力，影响涂层运用，导致失效。因此，要采取相应措施消除或削弱涂层结构内部的应力，避免应力引起的各种失效。

一、挑选合适基体

要消除涂层中的热应力，根本方法就是选用热膨胀系数相同的涂层和基体材料。其次是让成膜温度与涂层的测量温度或运用温度相同。此外，热应力作为薄膜应力的一部分，受温度的影响而易于操控，这样通过热应力的改动与本征应力互相作用，调整薄膜的微观应力，或许起到改进应力的作用。

二、做热退火处理

涂层中存在的各种缺陷是产生本征应力的主要原因。这些缺陷一般都对错平衡缺陷，故有自行消失的倾向。但是，要产生消失，需求外界处以活化能。在对涂层进行热处理时，外界处以热能，非平衡缺陷许多消失，因此涂层内应力明显下降。

三、添加中心涂层

在涂镀多层高反、增透或其它介质膜的过程中，膜料应力性质相同，这样就会增大整个膜层的应力，导致涂层决裂或掉落。使用应变相消的原理，在膜层与膜层之间再堆积一层薄膜，操控工艺使膜内出现与结构涂层相反的应力状态，来缓解应力带来的损坏作用。

别的，当基体和涂层的材料性质不同过大时，即界面性质不一致，其互相作用就大，这种作用力有使两种材料结构类似的作用趋势，因此涂层内产生很大的变形，构成内应力。这种状况可先对基体进行表面处理，即添加亚层，增大表面的湿润性，对涂层和基体的结构起到过渡作用，保持结构的连续性，然后减小应力。

　四、改动工艺参数

堆积过程中工艺参数的改动会直接影响薄膜中的剩下应力水平，通过调整镀膜时的基底温度、作业气压、堆积速率等工艺参数可以操控薄膜中应力的大小，甚至会改动应力的性质。

例如，对于溅射镀膜，跟着反应腔内溅射气压的增大，高能离子(粒子)的浓度增大，使得气体分子安闲程减小，存在严峻互相碰撞的散射现象，然后减小了气体分子的能量，原子喷丸效应削弱，增大了堆积粒子流的倾斜分量，致使膜结构疏松，压应力越来越小，变为张应力，张应力先增大再减小。

五、改进堆积技能

在磁控溅射堆积涂层过程中，跟着射频源功率的改动，堆积原子的动能也产生改动，界面分散层结构和膜层结构的缺陷浓度也随之改动。因此，涂层内的剩下应力就会产生改动。