一、涂层厚度分布

DLC涂层的厚度分布应均匀，无明显的局部厚薄不均现象。

二、测量位置

涂层厚度的测量位置应选取在涂层的代表性区域，包括各个主要涂层区域，以确保测量的准确性和可靠性。测量位置应选取在涂层表面平整、无划痕、无气泡等缺陷的区域。

三、精度要求

DLC涂层厚度的测量精度应符合相关标准和规定的要求。通常情况下，测量精度应控制在士5%以内，以确保涂层厚度的准确性。

四、表面粗糙度

DLC涂层的表面粗糙度应符合相关标准和规定的要求。表面粗糙度应控制在一定的范围内，以确保涂层的附着力和耐性能。

五、外观质量

DLC涂层的外观质量应符合相关标准和规定的要求。涂层表面应平整、光滑、无气泡、无划痕等缺陷，色泽均匀，具有一定的美观度。

六、硬度要求

DLC涂层的硬度应符合相关标准和规定的要求。硬度值应在一定的范围内，以确保涂层的耐磨性能和使用寿命。

七、DLC镀层厚度测试方法:

1、磁性法

磁性测厚仪测量永久磁铁和基体金属之间由于存在覆盖层而引起磁引力的变化，或者是测量穿过覆盖层与基体金属的磁通路的磁阻。测试范围:适合测量磁性金属上非磁性镀层:

2、金相法

采用金相显微镜检测横断面，直接以标尺以辅助测量金属覆盖层、氧化膜层的局部厚度的方法，测试范围:一般厚度检测需要大于1um，才能保证测量结果在误差范围之内:厚度越大，误差越小。测试方法的优缺点:它属于破坏法，其优点在于适用的镀层。

3、库仑法

测试原理:库仑法测厚是对被测部分的金属镀层进行局部阳极溶解通过阳极溶解镀层达到材料基体时的电位变化来进行镀层厚度的测量。库仑法测厚，将被测金属镀层作为阳极:并置于电解液中进行电解，所溶解的金属量与通过的电流和溶解时间的乘积成比例，既与消耗的电量成比例。

测试范围:适合测量单层和多层金属覆盖层厚度阳极溶解库仑法，包括测量多层体系，如Cu/Ni/Cr以及合金覆盖层和合金化扩散层的厚度。

4、电镜法

扫描电镜在对图像成像时，可以非常方便地利用软件对样品进行膜厚测量，并且会精确显示测得的膜厚。