DLC（类金刚石）涂层的最薄厚度和耐温性能因其成分、制备工艺和应用需求的不同而有所差异。以下是综合搜索结果的分析：

1. DLC涂层的最薄厚度

常规DLC涂层：通常在 0.5~3微米（μm） 之间。

超薄DLC涂层：某些特殊应用（如装饰镀或精密电子器件）可低至 0.5微米 甚至更薄。例如，装饰镀DLC在接近 0.5微米时可能出现炫彩效应。

Ta-C（四面体非晶碳）涂层：厚度可低至0.5微米，适用于高精度加工。

2. DLC涂层的耐温性能

标准DLC涂层：一般工作温度范围为 100°C 至 350°C。超过 400°C 时，sp³键可能向sp²键转变，导致性能退化。

掺杂改性的DLC涂层：

硅掺杂DLC（Si-DLC）：耐温性显著提高，可在740°C下保持稳定。

金属掺杂DLC（如Ti、W、Cr）：耐温性有所提升，但具体数值因掺杂元素和比例而异。

Ta-C涂层：抗氧化温度可达 550°C。

3. 影响DLC涂层性能的关键因素

sp³/sp²键比例：sp³键占比越高，硬度越高，但脆性可能增加。

氢含量：含氢DLC（a-C:H）通常摩擦系数更低，但耐温性较差。

沉积工艺：PVD（物理气相沉积）和CVD（化学气相沉积）会影响涂层的结构和性能。

结论

最薄DLC涂层：可低至 0.5微米（如装饰镀或Ta-C涂层）。

最高耐温DLC涂层：硅掺杂DLC可达 740°C，而标准DLC通常限于350°C。