一般情况下,DLC 涂层的工作温度范围在 - 150°C 到 500°C 之间25。但在实际应用中,不同工艺和成分的 DLC 涂层耐温性有所差异:
常规 DLC 涂层
在 300℃以上退火时,DLC 涂层会出现 sp3 键向 sp2 键转变,导致涂层性能发生变化,其最高耐受温度通常在 350℃左右。
1.硅掺杂 DLC(Si-DLC):
含 20at% Si 的 DLC 膜在 740℃退火时才出现 sp3 键向 sp2 键转变,显著提高了热稳定性。
2.金属掺杂 DLC(如 Ti、W、Cr 掺杂):
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