氮化铬(CrN)涂层是一种高硬度、耐磨损、耐腐蚀的陶瓷涂层,通常通过物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)技术在基体材料表面生成。以下是其制备过程的详细说明:
1、主要制备方法
物理气相沉积(PVD) PVD是制备氮化铬涂层最常用的方法,主要包括以下步骤: 真空环境:将基体(如刀具、模具)放入真空室,抽至高真空(约10⁻³~10⁻⁶ Pa)。 清洁处理:通过离子轰击(氩气等离子体)去除基体表面污染物。
靶材溅射:使用铬(Cr)作为靶材,通入惰性气体(如氩气)和反应气体(氮气,N₂)。在电场作用下,氩离子轰击铬靶,溅射出铬原子。 反应沉积:铬原子与氮气在等离子体中反应,生成氮化铬(CrN)并沉积在基体表面。
控制参数:调节氮气比例、温度(通常200~500℃)、偏压和沉积时间,可改变涂层的厚度(通常1~5微米)、硬度和结构。
化学气相沉积,CVD适用于高温环境(800~1000℃),通过气相化学反应生成涂层:
特点:涂层附着力强,但高温可能影响基体性能,适合耐高温材料(如硬质合金)。
2、涂层特性控制
成分调控:通过调整氮气流量,可生成CrN(单相)或梯度涂层(如Cr₂N/CrN混合)。
多层结构:交替沉积CrN和其他氮化物(如TiN、AlCrN),可进一步提升耐磨性。
后处理:退火或离子注入可优化涂层残余应力和结合力。
3、应用领域
切削工具:延长刀具寿命,减少摩擦。
模具保护:防止铝合金压铸模的金属粘附。
航空航天:涡轮部件抗高温氧化涂层。
装饰镀层:仿金外观且耐指纹。
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