半导体晶片加工的游星轮，游星轮上均布有多个用于放置半导体晶片的孔位,其中一个所述孔位的一侧设置有用于判断半导体晶片起始放入位置的标识，以所述标识为起点按一定的规则顺序依次将半导体晶片放入相应的所述孔位中。本实用新型准确的记录了晶片在游星轮中的实际位置，避免了晶片在游星轮中的无序摆放。而半导体专游星轮在使用中遇到轮齿损耗快，易变性易被空气腐蚀，导致使用寿命短的问题，而DLC类金刚石涂层工艺可以解决以上问题。

DLC涂层又称类金刚石涂层，硬度高(>HV2200)，干摩擦系数低(0.05-0.1)。是一种无油自润滑涂层。DLC涂层厚度可达到0.55um，并以最新工艺使产品具有良好的润滑、散热（干式）、绝缘防静电、化学性能稳定等性能，使工件寿命可增加5-10倍，可提高600％工作效力，从而降低生产成本。

做了DLC处理的不锈钢游星轮对酸碱具有良好的抗腐蚀能力，适用于在磨抛过程含有酸碱性工艺的产品使用。耐磨性强以不锈钢游星轮实际工作为例，连续工作 8500 转;表面无磨损,产品的表面维氏硬度达到 HV2800以上，由于游星轮跟其他工件摩擦，容易产生静电，而做了DLC涂层有防静电绝缘性能，从而保护半导体芯片。从而，提高了半导体晶片加工的游星轮的使用寿命。